涡轮分子泵基本参数及技术要求

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-23 1:14:22 * 浏览: 9

涡轮分子泵的基本参数如表3-103所示。涡轮分子泵的技术要求①涡轮分子泵的主要技术性能应符合表3-103的要求和按规定程序批准的设计图。 ②涡轮分子泵应在以下环境条件下正常工作：环境温度为4℃〜40℃，b。相对空气湿度小于85％，c。冷却水入口温度不高于25°C。③涡轮分子泵应避免清除灰尘，腐蚀性或爆炸性气体。在正常操作中，不允许将泵直接引入大气，并且不允许强烈的径向振动。 ④为了除气，烘烤泵壳，测试盖和真空计，烘烤温度应不超过以下要求：涡轮分子泵体和涡轮分子泵壳的上法兰：120℃，b。测试罩或真空容器：300°C，真空测量规：400°C。⑤建议前级泵应满足表3-104的要求：